首先，對恒溫濕箱來說，溫度和濕度是影響設備性能的重要因素。它們可以引起機械部件的銹蝕，使金屬鏡面的光潔度下降，引起恒溫濕箱部分的誤差或性能下降；造成光學部件如光柵、反射鏡、聚焦鏡等的鋁膜銹蝕，產生光能不足、雜散光、噪聲等，甚至工作，從而影響設備壽命。維護保養時應定期加以校正。客戶應具備四季恒濕的實驗室，配置恒溫設備，特別是地處南方地區的實驗室。

　　
　　其次，恒溫濕箱使用一定周期后，內部會積累一定量的塵埃，應定期開啟恒溫濕箱外罩對內部進行除塵工作，同時將各發熱元件的散熱器重新緊固，對光學盒的密封窗口進行清潔，必要時對光路進行校準，對機械部分進行清潔和必要的潤滑，最后，恢復原狀，再進行一些必要的檢測、調校與記錄（需專業人員操作）。

　　
　　第三，環境中的塵埃和腐蝕性氣體亦可以影響設備系統的靈活性、降低各種限位開關、按鍵、光電偶合器的可靠性，也是造成恒溫濕箱部件鋁膜銹蝕的原因之一。因此必須定期清潔，保障環境和實驗室內衛生條件。